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親水性全氟濾芯
LIBRA 系列濾芯是一種先進的親水性全氟濾芯，采用高純材料制作而成，并通過超純水沖洗，專為凈化晶圓清洗用電子化學品而設計，如至關重要的水基清洗劑 SC-1、SC-2 和SPM 等。
產品特色
• 全氟結構
• 高溫高壓性能
• 高流量、低壓差
• 無塵環境中制造
• 100％完整性測試
| 濾芯規格 | 濾芯直徑 | 濾材 | 濾芯長度 | 接口 | 密封圈 | 過濾精度 | 預潤濕 | 清洗標準 |
| LIBRA |
D1:Φ68
F1:Φ83
|
PL: 親水聚四氟乙烯 |
05:5"
10:10"
20:20"
30:30"
40:40"
|
2: 226平端，單開口
3: 222平端，單開口
4: 226有翼端，單開口
6: 222有翼端，單開口
|
C：包氟橡膠
F：全氟醚
|
J:0.03μm
A:0.05μm
B:0.1μm
C:0.22μm
D:0.45μm
F:1μm
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N: 無需潤濕
K: 預潤濕
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B：通用等級
C: 標準等級
E：電子等級
S：半導體等級
|
最大操作溫度:
170°C / 338°F
最大操作壓差：
0.59 MPa@50℃ / 85 psid@120°F
50%HF過濾 / 各種有機溶劑及酸性溶液過濾
