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  • LIBRA 濾芯
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    親水性全氟濾芯
        

    LIBRA 系列濾芯是一種先進的親水性全氟濾芯,采用高純材料制作而成,并通過超純水沖洗,專為凈化晶圓清洗用電子化學品而設計,如至關重要的水基清洗劑 SC-1、SC-2 和SPM 等。

     

    產品特色

    • 全氟結構

    • 高溫高壓性能

    • 高流量、低壓差

    • 無塵環境中制造

    • 100%完整性測試

     
    濾芯規格 濾芯直徑 濾材 濾芯長度 接口 密封圈 過濾精度 預潤濕 清洗標準
    LIBRA 
    D1:Φ68
    F1:Φ83
    PL: 親水聚四氟乙烯
    05:5"
    10:10"
    20:20"
    30:30"
    40:40"
    2: 226平端,單開口
    3: 222平端,單開口
    4: 226有翼端,單開口
    6: 222有翼端,單開口
    C:包氟橡膠
    F:全氟醚
    J:0.03μm
    A:0.05μm
    B:0.1μm
    C:0.22μm
    D:0.45μm
    F:1μm
    N: 無需潤濕
    K: 預潤濕
    B:通用等級
    C: 標準等級
    E:電子等級
    S:半導體等級

    最大操作溫度:

    170°C / 338°F

    最大操作壓差:

    0.59 MPa@50℃ / 85 psid@120°F

    50%HF過濾 / 各種有機溶劑及酸性溶液過濾

     

     

    關聯應用

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